清洁度检验最早应用于航空航天工业，而汽车工业于1996年由罗伯特·博世公司(Robert Bosch)因为提高柴油汽车发动机共轨喷射系统的生产质量而提出的。由于共轨的高压，罗伯特·博世缩小了喷嘴的尺寸至200μm甚至更小。但他们很快意识到，在生产流程过后，这种小喷嘴很容易被系统中残留的污染颗粒堵塞。由于这种新观念的出现，提出了对生产中清洁部件的质量规范。

清洁度是指对零件的特定部位用规定的方法从规定的特定部位采集到的杂质微粒的质量、大小和数量等特征参数来表征。

特定部位是指危及产品可靠性的特征部位，如润滑油道、强制润滑喷油嘴、过滤器阀芯等等。其中，液压部件及系统对颗粒物的存在尤其敏感。

异物是指产品在制造过程中产生的，不最终产品或产品的特性没有关联的物质；它作为不必要的物质存在，会导致产品不良的发生，因而必需除去的物质。

污物类型的包括种类、形状、尺寸、数量、质量等衡量指标，具体用何种指标取决于不同污物对产品性能的影响程度和清洁度控制精度的要求。

清洁度水平用每个零件所含污染物的总质量表示。如果需要，也可以结合颗粒种类或最大颗粒的尺寸/质量来表示。例如：总质量＋最大颗粒的质量。

注意：考虑到评价颗粒尺寸的检查方法不同(如:显微镜或颗粒计数器)，对相同的样本，测出的污染物水平可以不同。